較高溫度（℃）

1550

爐溫均勻性

±5

極限真空度（Pa）

4×10^-3

壓升率（Pa/h）

0.67

工藝氣氛 

Ar/N2/H2

技術特征

1.獨有的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

2.具備柔性抽真空、真空燒結(jié)、微正壓燒結(jié)、分壓燒結(jié)功能；。

3.采用先進的隔熱結(jié)構(gòu)和材料，輻射面積大、隔熱性能好；

4.具有超溫超壓等故障報警，機械式自動壓力保護，動作互鎖等功能，設備安全性高。

控制系統(tǒng)

采用觸摸屏操作、PLC集中控制、PID調(diào)節(jié)、操作簡單，可靠性高；

PLC:西門子、歐姆龍、三菱

人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機 

控溫儀表:日本島電、英國歐陸、美國霍尼韋爾

熱電偶:C分度號（鎢套管/鉬套管/陶瓷套管）

電器元件:高品質(zhì)國產(chǎn)、施耐德、西門子、AB

氣路控制：體積/質(zhì)量流量計

其它：具備遠程操作、遠程故障診斷和遠程軟件升級等功能。

真空系統(tǒng)

真空泵組和真空計:進口、高品質(zhì)國產(chǎn)

爐體

爐門開啟方式：鉸鏈回轉(zhuǎn)式 

爐門鎖緊方式：手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      

爐膽：鉬鑭合金+不銹鋼/鎢合金+鉬合金+不銹鋼/軟碳氈+硬質(zhì)復合氈/全硬質(zhì)復合氈               

爐殼：碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

加熱器材料：鉬鑭合金/鎢合金/等靜壓石墨/模壓三高石墨

RSZ-223W

200×200×300

25

50

RSZ-336W

300×300×600

100

85

RSZ-448W

400×400×800

200

105

RSZ-5513W

500×500×1300

400

240