一、螺桿式真空泵的應(yīng)用和特點(diǎn)：

真空爐生產(chǎn)廠家的螺桿式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。螺桿式真空泵的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。

螺桿式真空泵工作時(shí)，相互之間無摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，螺桿式泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

二：螺桿式真空泵的冷卻方式：

很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的縫隙被堵死，另外一個(gè)原因是由于長期運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子會(huì)由于熱脹冷縮而發(fā)生形變，造成泵的卡死。

三、抽除易燃易爆易腐蝕介質(zhì)：

眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。

但是由于螺桿式真空泵運(yùn)行時(shí)內(nèi)部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來處理腐蝕性介質(zhì)對(duì)無油螺桿式真空泵是不適合的。

此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質(zhì)，一旦出現(xiàn)細(xì)微的裂紋就會(huì)導(dǎo)致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。那么是不是只要特殊設(shè)計(jì)能可靠地控制溫度的設(shè)備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài)，沒有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？答案是肯定的。該泵應(yīng)用其自身先進(jìn)的冷卻系統(tǒng)，可以調(diào)整泵腔內(nèi)及轉(zhuǎn)子的溫度，使之沒有離子形式存在，全都?xì)饣?，從而避免腐蝕。所以此螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

評(píng)價(jià)爆炸有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆炸！

四、螺桿式真空泵的密封

泵內(nèi)既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有毒有害介質(zhì)。

絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個(gè)軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機(jī)，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環(huán)境及排氣口污染。

五、螺桿式真空泵特點(diǎn)：

1、結(jié)構(gòu)簡單緊湊：對(duì)旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結(jié)構(gòu)簡單，可靠，幾乎不需要維修。

2、干式運(yùn)行，無需任何工作介質(zhì)，因此無油污染，無污水排放，節(jié)能減排效果顯著。

3、抽氣腔原件無摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。

4、真空度高：單臺(tái)螺桿式真空泵可代替三級(jí)羅茨泵水環(huán)真空機(jī)組。

5、噪音低：一般情況下為80dB左右。

6、適宜抽除可凝性氣體、含粉塵的氣體等。

7、從大氣抽至極限壓力5Pa，只需一臺(tái)單泵就能解決。

8、干式運(yùn)行，溶酶回收更容易。

9、可與羅茨泵、水環(huán)泵等組成真空系統(tǒng)，以獲得更高的極限真空和增大抽速。

10、進(jìn)氣口標(biāo)配單項(xiàng)止回閥，防止氣體回流。

11、提供兩種防腐材料供選擇：鎳磷合金、特氟龍。